潽拓——{精},分子泵
广州潽拓,EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修保养
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一,EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧,增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和 安装成本,如果需要也可远程使用。
受zhuanli保护的独特泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑,这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂,并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10),通常 每 5 年维修一次,zui大程度地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 dB(A),可在洁净室内实现低噪声。
潽拓——爱德华涡轮泵,分子泵
爱德华BOC Edwards STP-451C磁悬分子泵
英国爱德华磁悬浮分子泵维修,能维修的磁悬浮分子泵型号有:
Edwards STP301---
Edwards STP301CEdwards STP451 ---
Edwards STP451CEdwards STP603 ----
Edwards STP603CEdwards STP1003----
Edwards STP1003C Edwards STPH301---
Edwards STPH301CEdwards STPH451---
Edwards STPH451CEdwards STPH803—
dwards STPH803CEdwards STPH1303---
Edwards STPH1303CEdwards STPH600---
Edwards STPH600CEdwards STPH1000—
Edwards STPA2203CEdwards STPA2503---
-Edwards STPA2503CEdwards STPA3003----
Edwards STPA3503CEdwards STPA2803----
Edwards STPA2803CEdwards STPA3503---
Edwards STPA3503C Edwards STPF2203---
STPF2203CEdwards STPXH2603P---
如果有需要维修Edwards STP-451C磁悬浮分子泵的,请随时联系我们
潽拓——爱德华涡轮泵,分子泵
Edwards next85h cf63 nw16 80w 涡轮增压泵
概述:
爱德华Edwards nEXT轮分子泵是一种带有复合牵引级和机载式控制器的混合轴承涡轮分子泵,抽速的范围为 47 ls-1 至 400 ls-1。它们全部使用永磁上轴承,能够消除转子顶部的碳氢化合物,同时使用油润滑下轴承,可实现可靠的高速操作。
广州潽拓光电有限公司维修爱德华全系列分子泵,Edwards爱德华涡轮分子泵nEXT85、nEXT240、nEXT300、nEXT400型号齐全。